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  • 用于先进过程控制的集成扫描电子显微镜和光学分析技术
  • 中文摘要:一种样品分析系统,包括扫描电子显微镜,光学和/或电子束检查系统和光学计量系统。 该系统还包括至少一个控制器。 所述控制器被配置为接收所述样品的第一多个所选择的感兴趣区域; 基于由扫描电子显微镜在所述第一选定感兴趣区域执行的第一检查来生成第一临界尺寸均匀性图; 基于所述第一临界尺寸均匀性图确定第二多个所选择的感兴趣区...
  • 申请日:2019-6-7    申请号::WOUS19035962

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  • 一种方便更换凹凸镜的工业显微镜
  • 中文摘要:本实用新型涉及显微镜技术领域,且公开了一种方便更换凹凸镜的工业显微镜,包括支撑座,所述支撑座的内部滑动连接第一齿板。该方便更换凹凸镜的工业显微镜,先将被测物品放置到放置台上,再转动第一转杆,通过啮合使第一齿板向下移动,带动安装座向下移动,使物镜向放置台靠近,再停止第一转杆的转动,安装座停止移动,然后拧松第一固定螺杆...
  • 申请日:2019-6-6    申请号::CN201920852692.0

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:扫描电子显微镜包括被配置为测量从样品发射的二次电子的二次电子自旋极化的自旋检测器,以及被配置为分析由自旋检测器测量的二次电子自旋极化数据的分析装置。 分析装置通过计算相邻像素的二次电子自旋极化数据的差来评估样品中的应变。
  • 申请日:2019-6-6    申请号::JP2021524585

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:该扫描电子显微镜具备:自旋检测器(103),其测量从试样(101)发射的二次电子(108)的二次电子自旋极化; 以及分析由自旋检测器测量的二次电子自旋极化数据的分析装置(100),其中分析装置通过计算相邻像素的二次电子自旋极化数据的差来评估样品中的应变。
  • 申请日:2019-6-6    申请号::WOJP19022452

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  • 一种光学显微镜
  • 中文摘要:一种光学显微镜,属于光学技术领域,包括显微镜底座、显微镜镜臂、载物台、物镜光学装置、头部罩壳、投影屏、调焦手轮、反光镜A、反光镜B、齿杆;物镜光学装置包括后固定组物镜座、后固定组物镜镜片、前组物镜镜片A、前组物镜镜片B、前组物镜镜片C、前组物镜镜片D、大底座物镜主座、物镜转换盘、转动罩、螺钉;本实用新型的有益效果是...
  • 申请日:2019-6-5    申请号::CN201920846093.8

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