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| - 一种物镜调节装置、成像组件及显微镜
- 中文摘要：本实用新型涉及一种物镜调节装置、成像组件及显微镜，其中物镜调节装置安装于物镜上，包括：第一套筒，具有安装件，所述安装件用于与所述物镜的轴向一端固定连接；第二套筒，用于沿周向环绕所述物镜设置，所述物镜的外表面与所述第二套筒的内表面沿径向存在间隙，沿轴向，所述第一套筒的下端面放置于所述第二套筒的上端面；第三套筒，环绕所...
- 申请日：2019-4-8 申请号：：CN201920464032.5
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- 显微镜的检测装置
- 中文摘要：[问题]显微镜的检测装置。 [解决方案]传感装置113是显微镜，布置在分散元件211, 212中的光束路径290包括选择元件。 所选择的元件212，来自光谱部分290, 291的光束路径分离光束路径。 探测器113进一步地，光束的光谱被聚焦到传感器部分上，使得光学单元213214291选择包括聚焦的路径。 作为一个...
- 申请日：2019-4-8 申请号：：JP2019073286
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- 一种物镜转塔、成像组件及显微镜
- 中文摘要：本发明涉及一种物镜转塔、成像组件及显微镜，物镜转塔包括：安装基准板；转轴，所述转轴垂直于所述安装基准板，并与所述安装基准板转动连接，沿所述转轴的轴向，所述转轴上设有至少两个间隔设置的固定件，所述固定件与所述转轴转动连接；转盘主板，沿所述轴向与所述安装基准板间隔设置，且与所述转轴固定连接，所述转盘主板用于沿周向安装至...
- 申请日：2019-4-8 申请号：：CN201910277452.7
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- 扫描电镜系统及图案深度测量方法
- 中文摘要：1，一种扫描电子显微镜系统，包括 : 主电子束辐射装置，其在衬底上以第一图案辐射主电子束，所述衬底具有在所述第一图案的外围区域形成的第二图案； 检测装置，用于检测由主电子束辐射装置用主电子束辐射的衬底发射的反向散射电子； 图像生成装置，生成与由检测装置检测到的反向散射电子的强度相对应的电子束图像； 指定装置，用于在...
- 申请日：2019-4-5 申请号：：WOJP19015151
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- 电镜装置，使用电镜装置的检查系统以及使用电镜装置的检查方法
- 中文摘要：一种电子显微镜装置，具有 : 检测部，其检测从被从一次电子产生部(电子枪)发射的一次电子照射的样品反射的反射电子； 图像生成部，其基于来自检测部的输出，生成基于反射电子的样品表面的图像； 以及处理部分，其为由图像生成部分生成的图像生成差分波形信号，并使用关于差分波形信号的信息来处理图像和测量在样本上形成的图案的尺寸...
- 申请日：2019-4-5 申请号：：WOJP19015148
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