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| - 利用设计补偿扫描电子显微镜电子束畸变引起的计量误差
- 中文摘要:公开了用于对用于计量操作的图像中的不均匀性进行量化和校正的方法和系统。 可以使用晶片的计量区域图像和设计夹。 所述计量区域图像可以是扫描电子显微镜图像。 所述设计夹可以是晶片的设计夹或合成设计夹。 可以量化和校正工具失真,包括电子束失真。 可以将设计剪辑应用于度量区域图像以获得合成图像,从而抑制一个或多个过程变化变...
- 申请日:2019-1-3 申请号::WOUS19012225
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- 一种原子力显微镜探针装夹辅助装置
- 中文摘要:原子力显微镜探针装夹辅助装置由基座、支撑柱、探针引导槽、撬杆、放置棘爪的面板和拨叉组成。支撑柱两端通过螺旋副分别与基座和探针引导槽联接在一起。面板内孔和撬杆轴通过间隙配合联接在一起,同时面板凸缘上表面与探针引导槽底部焊接。通过调节支撑柱两端螺纹的伸出量来调整探针引导槽位置高度直到其与探针夹高度相近;将基座在实验台上...
- 申请日:2019-1-2 申请号::CN201920002491.1
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- 适用于高频信号传输的原位低温透射电子显微镜样品杆
- 中文摘要:本发明属于透射电子显微镜技术领域,具体为一种适用于高频信号传输的原位低温透射电子显微镜样品杆。包括杜瓦罐,过渡仓,样品杆,样品杆头,同轴电缆;同轴电缆采用四根同轴导线,在无氧铜内芯与外杆间的空隙引出,通过法兰和真空接头引出到外部,实现0~4 GHz高频信号的低损传输;在内芯前端设计有加热电阻片,在固定样品附近设计有...
- 申请日:2018-12-30 申请号::CN201811649281.8
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- 扫描隧道显微镜针尖传递托
- 中文摘要:本实用新型提供一种扫描隧道显微镜针尖传递托,针尖传递托包括:第一单元,第一单元包括第一表面及第二表面;第一单元的传递方式包括水平传递;底座,底座位于第一表面上,并与第一单元相连接,底座包括第一通孔及第二通孔,第一通孔的直径大于第二通孔的直径,且第一通孔与第二通孔的中心线重合,从而在第一通孔及第二通孔之间形成限位台阶...
- 申请日:2018-12-29 申请号::CN201822252480.7
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- 扫描隧道显微镜针尖传递托
- 中文摘要:本发明提供一种扫描隧道显微镜针尖传递托,针尖传递托包括:第一单元,第一单元包括第一表面及第二表面;第一单元的传递方式包括水平传递;底座,底座位于第一表面上,并与第一单元相连接,底座包括第一通孔及第二通孔,第一通孔的直径大于第二通孔的直径,且第一通孔与第二通孔的中心线重合,从而在第一通孔及第二通孔之间形成限位台阶面;...
- 申请日:2018-12-29 申请号::CN201811642875.6
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