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  • 关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片
  • 中文摘要:该实用新型涉及一种关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片,用于监测关键尺寸扫描电子显微镜观测以监测关键尺寸扫描电子显微镜的缺陷状况,包括:裸晶圆;光阻条,形成于裸晶圆上表面,光阻条在关键尺寸扫描电子显微镜具有气流缺陷时发生崩塌,用户通过监测光阻条的崩塌状况来确定关键尺寸扫描电子显微镜是否有气流缺陷。本实用新型的关键尺寸扫...
  • 申请日:2018-12-11    申请号::CN201822071934.0

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  • 智能视频检测显微镜
  • 中文摘要:智能视频检测显微镜,其中,包括:支架,与所述支架通过卡筘垂直固定连接的光源装置,设置在所述光源装置上端、与所述光源装置固定连接的镜头,设置在所述镜头上端、与所述镜头固定连接的工业相机;还包括:显示装置,扫码枪,切换器;所述显示装置通过切换器与所述工业相机连接;所述扫码枪通过切换器与所述显示装置连接;本实用新型具备投...
  • 申请日:2018-12-11    申请号::CN201822069686.6

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  • 一种带照明装置的数码显微镜
  • 中文摘要:本实用新型提供了一种带照明装置的数码显微镜,该显微镜包括图像采集装置、显微镜头和照明装置,所述照明装置包括能提供汇聚形态光照的环形光源、漏斗型外壳和软垫,所述图像采集装置装设在所述显微镜头的目镜端,所述带软垫的照明装置通过装配件装设在靠近所述显微镜头的物镜的一侧。
  • 申请日:2018-12-10    申请号::CN201822060683.6

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  • 用于在样品装置上自动确定位置的方法和相应的显微镜
  • 中文摘要:本发明涉及一种用于自动确定显微镜(1)的物方中的样品装置(40)上的多个位置(P1P8)的方法。 包括显微镜物镜(10), 其限定光轴(8), 其中测量光束(30)由测量光束装置(19)产生并被引导到样品装置(40)和测量光束(32)上, 由检测器(28)检测由样品装置(40)32')反射的样品, 产生输出信号, ...
  • 申请日:2018-12-7    申请号::DE102018131427

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  • 一种可分离式扫描探针显微镜镜体
  • 中文摘要:本发明公开了一种可分离式扫描探针显微镜镜体,所述显微镜镜体包括压电马达、支撑架、绝缘盖、样品台、屏蔽罩和前置放大电路盒,绝缘盖上开设有一与压电马达形状和大小适配的第一定位卡槽,压电马达通过粘接方式固定在第一定位卡槽内;支撑架内部开设有一用于装设压电马达的腔体,且支撑架上端与绝缘盖固定连接,支撑架下端固定在样品台上以...
  • 申请日:2018-12-7    申请号::CN201811491521.6

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