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| - 一种扫描电镜背散射分析样品台
- 中文摘要:本实用新型公开了一种扫描电镜背散射分析样品台,属于晶体结构微区取向表征用装置领域。该样品台由定位销和夹具构成,其中夹具由挡板、底座、螺杆、垫片等组成,适用于不同壁厚、不同高度样品的夹持,同时可保证各尺寸样品与探头平行,降低了样品制样的操作难度,不再使用导电胶固定样品,消除了分析过程中样品发生位移的隐患,提高了分析结...
- 申请日:2018-4-29 申请号::CN201820633616.6
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- 显微镜系统、控制方法和存储介质
- 中文摘要:一种显微镜系统,包括显微镜装置和控制器。 该显微镜设备包括物镜和校正球面像差的校正装置。 控制器在延时观测的间隔期间检测观测目标的参考目标位置并至少基于变化信息更新校正信息,所述变化信息表示目标位置和校正装置的设置之间的关系,并且所述变化信息表示从目标到参考目标位置的距离的变化量。 所述控制器在所述延时观测的观测时...
- 申请日:2018-4-27 申请号::US15965387
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- 利用设计补偿扫描电子显微镜电子束畸变引起的计量误差
- 中文摘要:公开了用于对用于计量操作的图像中的不均匀性进行量化和校正的方法和系统。 可以使用晶片的计量区域图像和设计夹。 所述计量区域图像可以是扫描电子显微镜图像。 所述设计夹可以是晶片的设计夹或合成设计夹。 可以量化和校正工具失真,包括电子束失真。 可以将设计剪辑应用于度量区域图像以获得合成图像,从而抑制一个或多个过程变化变...
- 申请日:2018-4-27 申请号::US15965061
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- 偏振调控装置、方法及激光干涉式结构光照明显微镜系统
- 中文摘要:本发明公开了一种偏振调控装置、方法及激光干涉式结构光照明显微镜系统。本发明公开的偏振调控装置包括:两个普克尔盒或两个液晶位相延迟器,入射光依次经过第一普克尔盒、第二普克尔盒或第一液晶位相延迟器、第二液晶位相延迟器,且两个普克尔盒或两个位液晶相延迟器用于对入射光的偏振态进行调控。激光干涉式结构光照明显微镜系统中,各方...
- 申请日:2018-4-27 申请号::CN201810390264.0
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- 自动对焦显微镜系统
- 中文摘要:本发明实施例提供一种自动对焦显微镜系统,该自动对焦显微镜系统包括镜筒透镜、物镜、掩膜版以及处理器。本发明实施例将掩膜版的图案投射到被测物上,继而利用掩膜版的图案进行自动对焦,能够对透明的被测物进行精确对焦,并且利用掩膜版的图案进行对焦能够克服孔洞或缺陷带来的对焦精确度不高的缺陷。本发明实施例利用处理器确定所采集的掩...
- 申请日:2018-4-27 申请号::CN201810395360.4
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