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  • 多列扫描电镜系统
  • 中文摘要:多列扫描电子显微镜(SEM)系统包括立柱组件,在第第一基板阵列组件和立柱组件包括至少第第二基板阵列组件。该系统还包括光源组件,所述光源组件包括两个或多个照明源被配置为生成两个或更多个电子束和两个或多组多个定位器经配置以调整位置的两个特定的照明源在多个方向或多个照明源。该系统还包括 : 载台,其构造成将样品,其中立柱...
  • 申请日:2018-2-2    申请号::WOUS18016742

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  • 用于扫描电子显微镜系统电子源结构
  • 中文摘要:一种扫描电子显微镜(SEM)系统,包括多个电子光学柱和多个电子束源。 所述电子束源包括发射器,所述发射器包括被配置成产生多个电子束中的一个或多个电子束的一个或多个发射器尖端。 所述电子束源包括一个或多个定位器的叠层,所述一个或多个定位器被配置成基于由所述发射器产生的电子束的一个或多个测量来调整所述发射器的位置。 所...
  • 申请日:2018-2-2    申请号::US15887861

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  • 焦点检测方法及共焦显微镜
  • 中文摘要:[问题]缩短聚焦所需时间的焦点检测方法可以是共焦显微镜。 [解决方案]根据本发明的焦点检测方法, 一种共焦光学系统20的焦点检测方法, 光通过反射步骤由被测表面的物镜34,12,51,50样品会聚, 反射装置,用于在36e处反射入射到刀刃3612上的光, 将步骤12分成反射光2, 从12a1212反射的第二反射光被...
  • 申请日:2018-2-1    申请号::JP2018016155

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  • 利用光显微镜对样品片成像的方法
  • 中文摘要:本发明描述了一种利用光显微镜(10)对样品片成像的方法。 这是来自两个不同照明方向的样品用两个光片(58,60)照明,处于不同偏振状态的目标区域(S)相互共面并且样品被叠加。 借助于光片显微镜(10)的成像光学器件(14)产生照明目标区域(S)的图像。 利用两个光片(58,60)在被照明的目标区域(S)中产生干涉图...
  • 申请日:2018-2-1    申请号::DE102018102241

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  • 物镜转换器及显微镜
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种物镜转换器及显微镜,属于显微镜技术领域。所述物镜转换器,物镜转换器为一圆板,物镜转换器的中心开设有一个连接孔,用于与光学镜机构连接,也起到一定的定位的作用,物镜转换器上开设有光学孔,物镜转换器上、光学孔所在位置处设置为台阶面,台阶面自物镜转换器的中部位置向边缘位置斜向剖开,台阶面的厚度自物镜转换...
  • 申请日:2018-1-31    申请号::CN201820164287.5

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