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  • 以初级带电粒子小束阵列检查样本的方法、用於以初级带电粒子小束阵列检查样本的带电粒子束装置、及用於样本...
  • 中文摘要:一种在带电粒子束装置中由初级带电粒子小束阵列检查样本的方法,带电粒子束装置具有一光轴。方法包含:产生初级带电粒子束;由初级带电粒子束照射多孔镜头板,以产生初级带电粒子小束阵列;以及由第一与第二像场弯曲校正电极校正带电粒子束装置的像场弯曲。方法进一步包含施加电压至第一与第二像场弯曲校正电极。第一与第二像场弯曲校正电极...
  • 申请日:2017-11-22    申请号::TW106140439

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  • 用于显微镜的透镜更换和聚焦装置及包括该装置的显微镜
  • 中文摘要:本发明的目的涉及一种用于显微镜(100)的物镜更换和聚焦装置(10),其包括多个物镜(12), 并具有光轴Z, 其实质在于,其包括 : 第一导轨系统(16a),其具有固定到显微镜(100)的第一导轨(17a)和由第一导轨(17a)引导的第一移动构件(18a); 其中第一轨道系统(16a)沿着垂直于光轴Z的轴X设置,...
  • 申请日:2017-11-22    申请号::HU1700483

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  • 基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜
  • 中文摘要:一种基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜,包括脉冲高压调制器、速调管、热阴极微波电子枪、能量选择器、聚焦成像系统、泵浦激光系统和电子探测系统。本发明具备微秒的时间分辨能力及单发成像能力。
  • 申请日:2017-11-21    申请号::CN201711168748.2

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  • 扫描共焦显微镜装置、扫描控制方法和记录介质
  • 中文摘要:一种扫描共焦显微镜装置,包括 : 扫描共焦显微镜,包括物镜; 计算装置,其根据通过使用扫描共焦显微镜执行预扫描而获得的数据,将已经在其上执行预扫描的预扫描区域的物镜的光轴方向上的范围划分为多个组; 以及控制器,其控制所述扫描共焦显微镜以执行主扫描,在所述主扫描中,在为所述多组中的每一组确定的测量条件下扫描所述预扫描...
  • 申请日:2017-11-21    申请号::US15819358

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  • 一种低能扫描电子显微镜系统
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种低能扫描电子显微镜系统,包括:电子源,用于产生电子束;电子加速结构,用于增加所述电子束的运动速度;复合物镜,用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚;偏转装置,位于所述磁透镜的内壁与所述电子束的光轴之间,用于改变所述电子束的运动方向;探测装置,包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背...
  • 申请日:2017-11-21    申请号::CN201721565080.0

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