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| - 在荧光显微镜中数据采集期间估计和补偿样品漂移的系统和方法
- 中文摘要：一种估计物体的3D位置的相对变化(例如， 显微镜系统中的样品漂移)具有具有非对称接合点扩展函数分布的基准标记，包括在校准阶段期间为每个标记生成多个校准曲线，所述校准阶段包括用于PSF宽度的第一校准曲线和用于横向偏置的第二校准曲线。 所述方法还包括在获取阶段期间捕获所述标记的第一图像， 使用所述第一图像为所述标记生成...
- 申请日：2017-11-17 申请号：：US16347673
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- 一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法
- 中文摘要：本发明公开了一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄...
- 申请日：2017-11-17 申请号：：CN201711145220.3
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- 可用于电子显微镜的电子枪及包含其的电子显微镜
- 中文摘要：本发明涉及一种电子枪，其保持真空密封的真空排气配管连接部抽真空后与电子枪中包括吸气并可更换，和包含其的电子显微镜，所述保持真空，通过真空排气配管连接部密封，抽真空后与吸气剂设置在电子枪，用于电子显微镜的电子枪可以方便的更换可分离的电子束柱，它是经济的，因为在一起构成电子显微镜的电子枪的电子束光学系统可用作替代现有的...
- 申请日：2017-11-16 申请号：：WOKR17012981
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- 透射电子显微镜及其图像校正方法
- 中文摘要：按照一个实施例的装置是透射电子显微镜，产生电子束的电子枪； 所述电子枪电子束从照明光学系统照射样品； 固定所述样品架，所述样品架具有可移动的样品台； 对传输到所述电子束主物镜的信号进行采样； 所述物镜电子束下端和成像光学系统； 所述成像光学系统将通过电子束辐射可见的用户数量转换为样品图像的辐射。 荧光屏； 收集转换...
- 申请日：2017-11-16 申请号：：KR1020170153127
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- 基于扫描电子显微镜的三维关键尺寸测量方法
- 中文摘要：本发明公开了一种基于扫描电子显微镜的三维关键尺寸测量方法，属于半导体技术领域。所述方法包括：将电子束沿竖直方向倾斜第一角度入射沟道，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第一图片，分析第一图片得第一角度的正切表达式；将电子束沿竖直方向倾斜第二角度入射沟道，第二角度与第一角度不等，通过扫描电子显微镜拍摄沟道图片得到第二图...
- 申请日：2017-11-16 申请号：：CN201711139423.1
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