|
| - 显微镜
- 中文摘要:[问题]即使在切换物镜的种类多的情况下,显微镜也能够无故障地进行操作。 [溶液]1是显微照片, 具有多个18的物镜的放大倍数, 多个物镜被选择性地切换到旋转器19和18中的任一个, 在物镜的光轴上设置有手动节流阀, 提供了, 手动节气门孔径, 旋转器19由物镜18切换,可根据值的种类而改变, 所述节气门是手动操作的...
- 申请日:2017-11-16 申请号::JP2017221130
-
- 基于晶片形貌的引导扫描电镜测量
- 中文摘要:晶片形貌测量系统可以与扫描电子显微镜配对。 可以将形貌阈值应用于关于晶片的晶片形貌数据,所述晶片形貌数据是通过晶片形貌测量系统获得的。 可以为晶片生成度量采样计划。 该度量采样计划可以包括晶片形貌数据中高于形貌阈值的位置。 扫描电子显微镜可以使用计量采样计划扫描晶片并识别缺陷。
- 申请日:2017-11-16 申请号::US15814884
-
- 功能模块及具有该功能模块的显微镜
- 中文摘要:本发明涉及一种用于显微镜的功能模块(02)。 功能模块(02)包括用于将功能模块(02)可拆卸地安装到显微镜的模块支架上的机械接口(11)。 功能模块(02)还包括用于建立从显微镜物镜(03)到功能模块(02)的光路(09)的光接口(12)。 另外,功能模块(02)包括至少一个图像传感器(21)。 按照本发明,功能...
- 申请日:2017-11-16 申请号::EP17202113
-
- 扫描电子显微镜安全控制系统及方法
- 中文摘要:在该实施例中是在形成筒体时, 所述筒体位于样品扫描电子束枪内, 所述筒体真空和非真空条件,其中电子束通过将所述筒体分离到外部环境的电子可渗透膜,以及与扫描电子显微镜(扫描电子显微镜,SEM)检查相关联地形成的电子,所述扫描电子显微镜(扫描电子显微镜,SEM)检查包括从所述样品发射的被检测物; 所述样品台具有样品; ...
- 申请日:2017-11-16 申请号::KR1020170153193
-
- 一种通用型扫描电子显微镜样品台座
- 中文摘要:本发明公开了一种通用型扫描电子显微镜样品台座,本发明公开的通用型扫描电子显微镜样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面,在所述顶面上设有至少一个样品台孔,所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台;和至少一个支柱,所述支柱具有和螺孔型样品台的螺孔相配合的外螺纹。本发明的样品台座,能够匹配市场上大部分型号的扫描电子显微镜样...
- 申请日:2017-11-15 申请号::CN201711126799.9
-
|