|
| - 具有多探针传感器功能的装置的扫描探针显微镜
- 中文摘要:领域 : 测量。物质 : 本发明涉及一种测量设备,可用于探针方式的样品分析。 具有用于多探针传感器操作的装置的扫描探针显微镜包括 : 平台1, 带样品3的样品架2, 安装在扫描装置4上, 与安装在平台1上的接近装置5相连, 由辐射源7和光电探测器8组成的记录系统6,轮廓型多探头传感器9,包括具有柔性悬臂15的基座1...
- 申请日:2017-8-14 申请号::RU2017128876
-
- 在显微镜系统中,显微镜系统的控制方法
- 中文摘要:[a]具有倾斜侧焦平面以减小样品的聚焦侧的圆柱形样品。 [解决方案]显微镜系统1,激光显微镜载物台106050包括计算机控制器。 所述装置10包括激光显微镜,显微镜主体100上设置有物镜108,圆柱形样品采集的S个共焦图像。 所述计算机60包括在样品S侧的指定部分中的共焦图像。 台架控制器50, 光轴方向上的物镜,...
- 申请日:2017-8-14 申请号::JP2017156454
-
- 荧光显微镜
- 中文摘要:一种荧光显微镜,包括滤色器阵列,该滤色器阵列与成像阵列结合使用以产生全色图像,而无需使用激发滤光器,二向色器和发射滤光器。 在一些实施例中,光学器件包括反向直立(照相机)透镜,以提供比现有技术的荧光显微镜大得多的视场。
- 申请日:2017-8-11 申请号::US16324790
-
- 荧光显微镜
- 中文摘要:荧光显微镜中使用的滤色器阵列包括与成像阵列以产生完全彩色图像,而不需要使用的激发滤光片,二向色,和发射滤波器。在一些实施例中,光学器件包括一个反向立柱(摄像头)提供一种镜头的视场明显大于现有技术的荧光显微镜。
- 申请日:2017-8-11 申请号::WOUS17046491
-
- 一种具有扫描探针显微镜漂移校正方法和漂移校正功能的扫描探针显微镜
- 中文摘要:[问题]通过扫描探针显微镜实现对微小半导体器件的高精度测量。 [解决方案]沿着测量探针的X轴在主扫描方向上扫描样品表面上的主扫描线, 副扫描方向(Y轴方向)移动探头,然后沿主扫描线扫描探头,重复L11-Ln1主扫描进行测量。 在完成特定主扫描的测量之后,沿着扫描线将样品探针扫描到预定的基准以用于形状测量,测量基准形...
- 申请日:2017-8-10 申请号::JP2017154999
-
|