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  • 判定重叠误差之方法、用以制造多层半导体装置之方法、原子力显微镜装置、微影系统及半导体装置
  • 中文摘要:使用一原子力顯微術系統對介於一多層半導體裝置之諸裝置層之間的一重疊誤差進行判定之方法,其中該半導體裝置包括含有一第一圖型化層及一第二圖型化層之一裝置層堆疊,以及其中該原子力顯微術系統包含一掃描頭,該掃描頭包括一探針,該探針包含一懸臂及布置在該懸臂上之一探測尖端,其中該方法包含:使該探測尖端與該半導體裝置在平行於表面...
  • 申请日:2017-6-16    申请号::TW106120199

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  • 照明装置,显微镜,所述工业内窥镜
  • 中文摘要:[A]不损伤外观和强度,高散热性能的照明装置,显微镜,所述工业内窥镜。本发明用于发射照明光源单元(107)[a],照射光,和光源元件107,由具有高导热性的材料,所述外周壁形成一源极107的固定部107, : 107 : 107的四周固定框内的光源,至少一个通气孔2设置在不同的高度位置120,120具有,循环空气从...
  • 申请日:2017-6-16    申请号::JP2017119077

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  • 用于使用两个波长光在扫描光学显微镜中检查单个物镜的双倍放大设备和系统
  • 中文摘要:提供了用于在扫描光学显微镜中测试和观察单个物镜的双倍放大系统和装置以及使用这些系统和装置的方法。 两个光路允许两个波长的光被放大到分开的放大级别,使得较低放大倍数的光路可用于检查目标区域,而较高放大倍数的光路可用于检查目标区域的子集并引起测试样本响应以定位感兴趣的条件。
  • 申请日:2017-6-15    申请号::US15623848

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  • 一种配合裂缝显微镜使用的观测支架
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种配合裂缝显微镜使用的观测支架,包括一基座、一横向伸缩套筒和一纵向伸缩套筒;基座内设有一目镜端反射镜以反射来自裂缝显微镜的光,其侧壁设有一用以调节该目镜端反射镜的角度的第一调节机构;纵向伸缩套筒的下部内设有一物镜端反射镜下部的侧壁设有一用以调节该目镜端反射镜的角度的第二调节机构;上述基座可拆卸的连...
  • 申请日:2017-6-15    申请号::CN201720695826.3

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  • 一种海参骨片鉴定种类显微镜
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种海参骨片鉴定种类显微镜,包括显微镜主体、物镜、反光镜、转动旋钮、第二调节杆、第一螺母、羊角螺母和橡胶垫,所述反光镜设置在载物台的下方,所述转动旋钮与转动杆螺纹连接,所述第二调节杆设置在第一调节杆的下方,所述第一螺母设置在第一调节杆的右侧,所述转动杆与下压块焊接连接,所述橡胶垫均粘贴在上压块和下压...
  • 申请日:2017-6-15    申请号::CN201720697307.0

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