要解决的问题 : 解决了低能量的X射线的检测中困难的情况下,真空系统的分析仪和分析室的切断使用隔墙。方法 : 表面分析仪设有分析室,其容纳样品并保持在真空,主光束照射装置,用于照射所述样品与主光束,一种聚光装置,用于会聚从样品的X射线会聚的主光束,一开口位于X射线的会聚点以允许汇聚后的X射线对通光谱和光谱装置...
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