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| - 一种改进型角反射镜激光干涉仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一种改进型角反射镜激光干涉仪，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台，微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内凹陷的直角反射面，微动角反射镜连接在微动平台上；该微动平台优选为压电陶瓷。该一种改进型角反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微...
- 申请日：2015-3-30 申请号：：CN201520184535.9
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- 抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一种抗干扰阶梯平面反射激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定反射镜、移动反射镜、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平...
- 申请日：2015-3-30 申请号：：CN201520184605.0
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- 一种抗干扰阶梯平面角反射镜激光干涉仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一种抗干扰阶梯平面角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组，其中激光源包括n, 个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)；经过分光镜作用后的一束激光射入其中...
- 申请日：2015-3-30 申请号：：CN201520184836.1
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- 一种抗干扰阶梯角反射镜激光干涉仪
- 中文摘要：本实用新型涉及激光干涉测量技术领域，具体涉及一种抗干扰阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯型角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组以及微动平台，阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)，所述激光源可以生成多束平行激光，所述光电探测器组有n个光电探测器，激光干涉测量过程中...
- 申请日：2015-3-30 申请号：：CN201520182495.4
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- 一种多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪
- 中文摘要：本发明公开了一种多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、移动角反射镜、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m-1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯...
- 申请日：2015-3-30 申请号：：CN201510143647.4
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