|
| - 两个三维坐标测量机
- 中文摘要：要解决的问题 : 以快速测量所述表面上的所述两个点之间的准确长度的一测量对象通过一简单的计算，即使当所述测量对象由于该表面变形的测量表是不完美平板。溶液 : 两个三维坐标测量机具有的晶格点设定装置，用于设定一个大数量的晶格点(34)。其X-坐标和Y-坐标被确定在所述测量对象的所述表面(30)，z-坐标检测装置，用于...
- 申请日：2007-10-12 申请号：：JP2007266866
-
- 用于所述确定的所述的集中性掩模过程
- 中文摘要：它是一种过程用于确定所述的集中性的掩模(2)露出。所述掩模(2)所述是一个说明测量系统的一个的Z-轴干涉方面可调的测量表(20)。存储在一个坐标测量装置(1)垂直于上。所述掩模的情况坐标系统(30)关于所述测量仪器坐标系统(40)所述的基础上变成至少两个结构在所述掩模(2)确定。一个使所述的相对距离第一和第二的外侧...
- 申请日：2007-10-11 申请号：：DE102007049100
-
- 坐标测量机，用于确定相位掩模的关系I。E。相移掩模，半导体的制造过程中，具有光学单元，其中基于确定的...
- 中文摘要：本发明是一种坐标测量机和一种过程用于确定所述的相位关系的一个掩模(2)。揭示。该坐标测量机覆盖一个块(25)，所述一个电平(25a)定义的，其携带一个移动测量表(20)。一个照明和一个说明机构是预期的，由此所说明的机构至少一个物镜(9)和一个检测器覆盖。所述的物镜(9)限定了一个检测路径射线。所述照明机构的训练一源...
- 申请日：2007-10-11 申请号：：DE102007049099
-
- 用标定探头验证三坐标测量机的误差图
- 中文摘要：使用包括触针的校准探头来验证CMM的误差图，所述探头能够绕至少一个轴旋转，包括将校准伪像放置在CMM的台上，所述台在XY平面中具有上表面； 相对于所述伪影将所述CMM的Z-RAM定位在第一校准位置和第二校准位置，使得所述触笔接触所述伪影； 计算表示第一和第二校准位置之间的测量长度的测量值； 基于所述探针的触针的长度...
- 申请日：2007-10-3 申请号：：US11866453
-
- 坐标测量机
- 中文摘要：一种具有三个铰接臂传递构件的便携式坐标测量机可以提供精确的测量。 传送构件可以是单管组件。 所述传递构件可各自通过相对短的铰接接头组件可旋转地连接，所述铰接接头组件允许相邻传递构件相对旋转约两个自由度。 可以使用编码器来测量关于每个自由度的相对旋转，并且可以通过位于传送构件内的处理器板来数字化来自编码器的信号。 处...
- 申请日：2007-9-28 申请号：：US11864392
-
|