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| - 外差激光干涉仪用于测量晶片级的平行位移
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种装置用于测量一平行位移的一个阶段使用廉价的测量平面反射镜。溶液 : 系统100,200,用于沿第一轴线的位移测量包括一装置102可移动至少沿第二轴垂直,以第一轴,所述测量的反射镜110,210连接到所述装置在一角度较大的比为相对于第一°轴,和干涉仪101,201提供与分束器106。所述分...
- 申请日:2005-5-12 申请号::JP2005139718
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- 所述三个三维测量机,其保证了同时测量
- 中文摘要:该方法包括 : 每次取出N个线性位移量的测试,实现分别进行N点在标准部件,待测的一部分。所述N个三维坐标计算出待测零件点的三维坐标,N点的标准部件,所述长度测量及n的理论中的法线方向余弦的n个点。本发明还包括用于三坐标测量机。
- 申请日:2005-5-11 申请号::RU2005114232
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- 光纤-光激光器使用零交叉检测interferomtry
- 中文摘要:目的 : 一种光纤激光干涉仪利用零交叉检测被提供到监视器的干扰相位通过使用一种光检测器,构成 : 光信号被反射的激光干涉仪的两个端中。所述光信号进入并通过所述相同的路径对应的一个光程差和然后是一个光学检测器中与每个其它干扰。所述光检测器的输出信号是两倍的光的相位与每个其它一CCD中的干扰的干扰摄像机,所述所述CCD...
- 申请日:2005-5-6 申请号::KR1020050037867
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- 一种三坐标测量机
- 中文摘要:本实用新型涉及测量设备技术领域,具体涉及一 种三坐标测量机。本实用新型要提供一种三坐标测量机,以克 服现有技术存在的质量大,移动部件运动惯量大,精度低,安 装麻烦,刚度差,不稳定,成本高的问题。为克服现有技术存 在的问题,本实用新型的技术方案是:一种三坐标测量机,包 括横梁和滑架,其特殊之处在于,所述横梁的横向截面...
- 申请日:2005-4-22 申请号::CN200520078656.1
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- 该机械测试机的所述材料
- 中文摘要:[otnosits是有用的所述模型]到该领域研究的所述固体材料的强度特性的通过所述应用到它们的机械负载。通过在所述的点[V1]的目的[[V1]yetsemoy]有用的模型中增加该所述的速度的精度的[podderzhani][nagruzheni]和减少在所述的电-needlaziness。[DL][dostizhe...
- 申请日:2005-4-22 申请号::RU2005112283
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