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| - 一种基于测量的配置的线性刻度上能够测量到一个目标也垂直于所述测量轴移动
- 中文摘要：激光干涉仪和高质量线性编码器都是用于高精度机器中的竞争性线性测量系统。 平面激光干涉测量允许对垂直于测量方向移动的目标进行测量，并建立与功能点一致的激光束。 以这种方式，可以避免测量系统的堆叠，并且可以配置符合阿贝原理的测量配置。 另一方面，已知激光干涉测量对环境变化敏感。 高质量的线性刻度被用作备选方案。 线性刻...
- 申请日：2004-5-27 申请号：：GB0411837
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- 疲劳试验机
- 中文摘要：本发明提供了一种具有改进的疲劳测试仪精度。所述疲劳试验机(10)包括 : 一个主体(11)具有一测试件安装部(20)和一个致动器(40); 和控制装置(60)用于执行反馈控制，用于根据与一个负载中的反馈一个检测信号施加到一个测试件(1)。在所述疲劳试验机(10)，放大比校正\/零-点校正计算装置(78)比较检测到的...
- 申请日：2004-5-26 申请号：：WOJP04007191
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- 材料试验机
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种材料试验机能够提高其控制的性能通过减少到所述最大误差被控制的同时，产生一测试力，和自动确定反馈控制中的一个参数值，关于所述材料试验机用于控制一负载机构通过一个反馈控制系统。溶液 : 该机是提供具有一前馈控制装置，用于计算所述弹性模数的所述负载机构包括一测试件W通过使用一检测到所述测试期间每...
- 申请日：2004-5-25 申请号：：JP2004155114
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- 材料试验机
- 中文摘要：要解决的问题 : 以实现一种材料试验机配备具有一个气动缸作为一个致动器的一个通过负载机构克服的问题在使用该气动缸作为所述负载的所述致动器机构用于该测试机。溶液 : 该气动缸5被用于作为所述负载的所述致动器机构。缓冲材料11由分别提供缓冲效果的行程端部上安装所述缓冲材料11所述缸5在其两侧或在压力接收表面B的一活塞5...
- 申请日：2004-5-24 申请号：：JP2004152916
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- 一种测量晶圆台平移的外差式激光干涉仪
- 中文摘要：一种用于测量沿第一轴线的位移的系统，包括可至少沿垂直于第一轴线的第二轴线移动的装置，相对于第一轴线以大于0°的角度安装到所述装置的测量反射镜，以及具有分束器的干涉仪。 分束器将输入光束分成测量光束和参考光束，在至少两个通道中将测量光束引导到测量镜，并且在所述至少两个通道之后将测量光束和参考光束组合成输出光束。 至少...
- 申请日：2004-5-21 申请号：：US10850811
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