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  • 激光干涉仪。
  • 中文摘要:一激光干涉仪使用一种声-光调制的激光(100),以产生一对正交极化频移的光束。该光束被向下传送一单模,偏振保持光纤(110)中,以便发送该光束以一种空腔(148)。该光束被分离在偏振光束分束器(128)和指向下测量臂(130)和参考臂(132)。一个干涉仪的。所述之间的差拍频率被检测反射光束在光检测器(146),它...
  • 申请日:1990-11-20    申请号::EP90312613

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  • 激光干涉仪。
  • 中文摘要:一激光干涉仪使用一种声-光调制的激光(100),以产生一个对频移的正交极化的光束。该光束被向下传送一单模,偏振保持光纤(110)中,以便发送该光束以一种空腔(148)。该光束被分离在偏振光分束器(128)和指向下测量臂(130)和参考臂(132)。一个干涉仪的。所述之间的差拍频率被检测反射光束在光检测器(146),...
  • 申请日:1990-11-20    申请号::EP93203575

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  • 使用两束激光束之间的频率差测量距离的激光干涉仪
  • 中文摘要:一种激光干涉仪,使用声光调制激光器(100)产生一对正交偏振频移光束。 光束沿单模保偏光纤(110)向下传输,以便将光束传输到腔(148)。 光束在偏振分束器(128)处分离,并向下指向干涉仪的测量臂(130)和参考臂(132)。 在输出测量信号(152)的光检测器(146)处检测反射光束之间的拍频。 将该拍频与入...
  • 申请日:1990-11-16    申请号::US07614159

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  • 坐标测量机。
  • 中文摘要:具有扩展的坐标测量装置测量体积。所述扩展的尺寸工件上测量用于测量体积是提供通过一个附着在载体板(15),在之间的滑动至少2定义的位置相对于该表(1)的所述坐标测量装置。该位置该载体板的阶段中用于测量其尺寸。Pref。该载体板(15)是通过一种相关联的气动移动驱动器(13)包含在一个信道(12)的所述表(1)。
  • 申请日:1990-10-30    申请号::EP90120759

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  • 三坐标测量机
  • 中文摘要:通过一种装置增加给定坐标测量机的测量体积A,该装置包括(i)支撑板(15),该支撑板(15)可在机器台(1)的表面上移动到至少两个限定位置,和(ii)用于测量支撑板在这些不同位置的位置的装置(16a-c,17a-c)。 将待测工件夹紧在所述支撑板(15)上,然后逐段测量。
  • 申请日:1990-10-26    申请号::US07604620

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