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| - 动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪
- 中文摘要：本发明涉及一种动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域；包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有移动机构，样品固配座跟随移动机构运动，在样品固配座的上侧面竖直设置有相互垂直的激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴，立轴的下端安装有吊挂架，吊挂架下端设置有...
- 申请日：2022-8-20 申请号：：CN202211001793.X
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- 基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪
- 中文摘要：基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪属于精密测量仪器；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架；在主机座上可纵向移动配装带有纵向激光反射镜、横向激光反射镜、立向激光反射镜的样品固配座；立轴通过立向运动座、横向运动座配装在横向导轨上，可通过立轴在横向和立向上移动横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪、立向激光干涉...
- 申请日：2022-8-20 申请号：：CN202211001788.9
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- 基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪
- 中文摘要：基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备，由主机座、纵向运动块、立向支撑架构成机架，立轴下端安装星形探针，星形探针上安装有纵向激光干涉仪光纤测头、第二激光干涉仪光纤测头、第一激光干涉仪光纤测头，激光干涉仪光纤测头发射激光光线中的测距功能光束正交汇聚于探针测头中心，且所述激光光线与V形工作台...
- 申请日：2022-8-20 申请号：：CN202211001785.5
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- 十字运动面及斜置正交测量基准配合的形位误差测量仪
- 中文摘要：十字运动面及斜置正交测量基准配合的形位误差测量仪属于精密测量设备；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架，在主机座上可纵、横向移动配装带有微晶玻璃样品台的十字形运动面，由横向气浮轴套、纵向气浮轴套、横向连接件、纵向连接件组成的横、纵向移动驱动机构安装在运动座上，可驱动十字形运动面于横纵方向高精度移动，在轴座上通过立...
- 申请日：2022-8-20 申请号：：CN202211004032.X
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- 分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪
- 中文摘要：本发明涉及一种分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域，包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有样品固配座，主机座上设置有移动机构；在样品固配座的上侧面竖直设置有横向激光反射镜和纵向激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴；立轴的上端设置有立向...
- 申请日：2022-8-20 申请号：：CN202211003651.7
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