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| 基于氮化硅薄膜纳米孔制备及DNA分子检测 |
| 作者：马建;王欣;李堃;纪安平;杨浩杰;沙菁;陈云飞;； 出处：东南大学学报(自然科学版). 2017,47(02):265-270 |
| 关键词：氮化硅;纳米孔;聚焦离子束;DNA |
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| 文章摘要：通过对影响聚焦离子束溅射氮化硅纳米孔的溅射时间和离子束束流2个主要参数的研究,优化了聚焦离子束溅射纳米孔加工工艺.提出了利用聚焦离子束对氮化硅薄膜进行减薄后再溅射纳米孔的加工工艺.采用该加工工艺不仅可以减小纳米孔的直径和厚度,还可以减小纳米 |
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