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| 我国建设世界最大真空互联科研装置 |
| 作者：； 出处：工具技术. 2017,51(04):21 |
| 关键词：纳米领域;苏州工业园区;苏州工业区;纳米器件;实验站;超高真空;装置; |
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| 文章摘要：世界首个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域科学装置———纳米真空互联综合实验站正在江苏苏州工业园区建设。这个实验站相当于在太空建设了一个全真空的纳米器件研发平台。正在建设中的这个纳米实验站是目前世界上最大的真空互联科研装置。其总 |
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