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| 银铜双原子MACE法制备多晶硅陷光结构及其性能的研究 |
| 作者：郑超凡;沈鸿烈;蒲天;蒋晔;李玉芳;唐群涛;吴斯泰;陈洁仪;金磊;； 出处：功能材料. 2017,48(01):1230-1235 |
| 关键词：黑硅;减反射;纳米结构;金属辅助化学法;银铜双原子 |
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| 文章摘要：采用一步银铜双原子金属辅助化学腐蚀(MACE)法,于室温下在多晶硅表面制备纳米陷光结构,研究了腐蚀时间及银铜摩尔比对多晶硅表面反射率和形貌的影响。用分光光度计测量了多晶硅表面的反射率,用扫描电镜观察了表面形貌。发现银铜双原子MACE法所形成 |
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