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| 纳米薄膜解析获利器可表征三维结构 |
| 编记：； 出处：人民网. 2009-04-23 |
| 国内新闻 |
| 在中国科学院重大科研装备研制项目的资助下,中科院力学所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。在中科院专家组对仪器性能和各项技术指标进行现场测试的基础上,日前,验收专家组一致认为:系统为复杂横向结构的大面积多层纳米薄膜样品的快速表征和物性分析提供了有效手段,是一种纳米薄膜三维结构表征的新方法。 |
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