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| 我国研发出“零损伤”兆声波半导体清洗设备 |
| 编记：王春； 出处：科技日报. 2009-03-24 |
| 国内新闻 |
| 本报讯盛美半导体设备(上海)有限公司3月17日在上海举行的中国半导体国际展上展出一台12英寸单片兆声波清洗设备。这是国内首台具有自主知识产权的“零损伤”兆声波半导体清洗设备。 |
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