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| 含有乳酸酉昌的防腐剂 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200580017351.2 |
| 申请日期：2005.06.14 |
| 公开公告号：CN1961409 |
| 公开公告日：2007.05.09 |
| 主分类号：H01L21/302(2006. |
| 分类号：H01L21/302(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I |
| 国际申请：2005-06-14 PCT/US2005/021164 |
| 国际公布：2006-02-02 WO2006/012020 英 |
| 申请人：英特尔公司 |
| 地址：美国加利福尼亚 |
| 发明设计人：亚当·R·斯蒂芬森;休·D·昌 |
| 内容摘要：通过在铝基金属膜被蚀刻之前向铝基金属膜施加含乳酸酯的溶液可以使铝基金属膜的腐蚀最小化。在用腐蚀性的蚀刻剂蚀刻铝基金属膜之前将含乳酸酯的溶液施加到该膜上。使铝基膜的腐蚀最小化可以增加高反射性的像素阵列的成品率和性能，所述像素阵列由用于数字电视的硅上液晶(LCOS)微处理器中的铝基金属形成。 |
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