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| 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200610089390.X |
| 申请日期：2006.06.23 |
| 公开公告号：CN1877998 |
| 公开公告日：2006.12.13 |
| 主分类号：H03L7/18(2006.01 |
| 分类号：H03L7/18(2006.01)I;G01H11/06(2006.01)I |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：北京航空航天大学 |
| 地址：100083北京市海淀区学院路37号 |
| 发明设计人：樊尚春;蔡晨光;邢维巍 |
| 内容摘要：电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环，闭环控制系统包括低通滤波器，模拟数字转换器、微处理器、直接数字合成信号源和激励放大器。敏感结构的拾振电阻输出的信号经过低通滤波器放大和滤波后，由模拟数字转换器转换成数字信号输入到微处理器中，微处理器控制直接数字合成信号源输出正弦信号，作为拾振电阻的参考信号，直接数字合成信号源输出的正弦信号经过激励放大器放大，作为敏感结构中激励元件的激励信号激励谐振器。由敏感元件的拾振电阻、低通滤波器、模拟数字转换器、微处理器和直接数字合成信号源构成一个锁相环，其中拾振电阻作为鉴相器，从而实现传感器的锁相闭环。 |
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