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| 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200610089391.4 |
| 申请日期：2006.06.23 |
| 公开公告号：CN1866747 |
| 公开公告日：2006.11.22 |
| 主分类号：H03L7/18(2006.01 |
| 分类号：H03L7/18(2006.01)I;G01H11/06(2006.01)I |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：北京航空航天大学 |
| 地址：100083北京市海淀区学院路37号 |
| 发明设计人：樊尚春;蔡晨光;邢维巍 |
| 内容摘要：电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环，闭环控制系统包括低通滤波器，模拟数字转换器、微处理器、直接数字合成参考信号源、直接数字合成激励信号源和激励放大器。敏感结构的拾振电阻输出的信号经过低通滤波器放大和滤波后，由模拟数字转换器转换成数字信号输入到微处理器中，微处理器控制直接数字合成参考信号源输出拾振电阻的参考信号，微处理器控制直接数字合成激励信号源输出的正弦信号经过激励放大器放大，作为敏感结构中激励元件的激励信号激励谐振器。由敏感元件的拾振电阻、低通滤波器、模拟数字转换器、微处理器和直接数字合成参考信号源构成一个锁相环，其中拾振电阻作为鉴相器，从而实现传感器的数字锁相闭环。 |
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