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电阻加热一热处理系统用的装置和方法

发明专利

申请专利号：CN01819073.1

申请日期：2001.11.07

公开公告号：CN1475026

公开公告日：2004.02.11

主分类号：H01L21/00

分类号：H01L21/00;H05B3/18;H05B3/14

国际申请：PCT/US01/46633 2001.11.7

国际公布：WO02/41370 英 2002.5.23

申请人：麦特逊技术股份有限公司

地址：美国加利福尼亚州

发明设计人：K·E·约翰斯加尔德;D·L·梅西尼奥

内容摘要：一种电阻加热器，它包括部分地或全部地嵌入在一未掺杂的陶瓷材料的基体内的掺杂的陶瓷加热元件。该陶瓷可以是碳化硅，而掺杂物可以是氮。本加热器的许多优点源于这样的事实：包括加热元件的材料和包围那些加热元件的基体材料具有基本上相同的热膨胀系数。在一实施例中，加热器是一单一板，它表现为紧凑、强度大、耐用和低的热力质量，以能快速响应输入功率的变化。电阻加热器可被用于许多反应器和处理室，这些反应器和处理室用来制造集成电路，例如，沉积外延附生膜的集成电路，并实现快速热处理。

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