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| 压电喷墨头及其压力腔成型法 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN02147347.1 |
| 申请日期：2002.10.16 |
| 公开公告号：CN1490160 |
| 公开公告日：2004.04.21 |
| 主分类号：B41J2/14 |
| 分类号：B41J2/14;B41J2/16 |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：飞赫科技股份有限公司 |
| 地址：台湾省新竹市水利路81号9楼之5 |
| 发明设计人：杨明勋;蔡志昌 |
| 内容摘要：压电喷墨头是通过压电使压电材料形变，透过震动层压挤压力腔使其中的墨水喷出而在列印媒体上形成文字或图像，现今压电喷墨头的主要制作方法是由陶瓷材料制作压力腔并在叠合压电元件后共烧而成，本发明则由至少包含一大孔洞的硅基底，于大孔洞中填入光阻，对光阻进行黄光微影或蚀刻制程，以在大孔洞的光阻层中形成复数个隔离的小凹槽，则此小凹槽即可用作为压力腔力腔，并可结合另一与其粘合后薄化处理的硅晶片，即一并完成震动层的制作。 |
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