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高性能锆钛酸铅薄膜的制备方法

发明专利

申请专利号：CN02160680.3

申请日期：2002.12.31

公开公告号：CN1513809

公开公告日：2004.07.21

主分类号：C04B35/49

分类号：C04B35/49;C04B35/491;C04B35/622;C04B41/81

国际申请：

国际公布：

申请人：中国科学技术大学

地址：230026安徽省合肥市金寨路96号

发明设计人：褚家如;鲁健;黄文浩

内容摘要：本发明是一种高性能锆钛酸铅薄膜的制备方法，属于铁电功能陶瓷材料的制备方法，尤其是涉及锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的制备方法。其制备过程为：①以溶胶-凝胶法配制前驱溶液；②制作带有PZT结晶种子层的衬底；③将前驱溶液雾化并加速，使之沉积在衬底上形成薄膜；并对衬底及薄膜进行热处理；或者：每雾化镀膜0.5～1微米厚度时再采用旋转镀膜法在其上镀一层PZT膜。本发明与传统的溶胶-凝胶法相比具有突出的优点，不仅继承了其成分准确、容易控制、所得薄膜择优取向等优点；而且薄膜生长速度快，单层膜厚可达0.5～2微米；前驱溶液的浪费少、利用率高；装置结构简单、成本低，并且可与常用的微机电系统加工工艺相兼容。利用本发明制备的PZT铁电薄膜能同时获得大的薄膜厚度以及优异的压电、介电性能。

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