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| 用于组合式加热和冷却设备的加热部件以及其加热方法 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN02811405.1 |
| 申请日期：2002.05.07 |
| 公开公告号：CN1513107 |
| 公开公告日：2004.07.14 |
| 主分类号：F26B19/00 |
| 分类号：F26B19/00 |
| 国际申请：PCT/US2002/014335 2002.5.7 |
| 国际公布：WO2002/099349 英 2002.12.12 |
| 申请人：FSI国际公司 |
| 地址：美国明尼苏达 |
| 发明设计人：纳塔拉詹·拉马南;詹姆斯·B·西姆斯 |
| 内容摘要：加热部件和有关方法，用来处理基底(13)例如微电子器件，加热部件包括一个导热层(20)，导热层制备成具有上好平面度，而且还具有有利于快速、灵活而且均衡地进行热传递的热传递特性，该导热层优选采用陶瓷材料构成。该加热部件包括一个多层加热元件。 |
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