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| 用于光电装置的烘箱 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN02824624.1 |
| 申请日期：2002.11.27 |
| 公开公告号：CN1602554 |
| 公开公告日：2005.03.30 |
| 主分类号：H01L31/18 |
| 分类号：H01L31/18;H01L21/00;F27B9/24 |
| 国际申请：PCT/EP2002/013372 2002.11.27 |
| 国际公布：WO2003/054975 英 2003.7.3 |
| 申请人：埃尼里塞奇公司 |
| 地址：意大利米兰 |
| 发明设计人：马利亚诺·扎尔科内;阿梅里科·罗马尼奥利 |
| 内容摘要：一种烘箱，用于由半导体材料制成的光电装置，其特征在于：烘箱内的半导体材料的输送是通过一系列的、由一种陶瓷材料制成的辊子实现的，所述辊子绕其自身的轴线旋转。 |
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