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| 接触式温度探测器和制造方法 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN03807409.5 |
| 申请日期：2003.03.31 |
| 公开公告号：CN1643352 |
| 公开公告日：2005.07.20 |
| 主分类号：G01K1/14 |
| 分类号：G01K1/14 |
| 国际申请：PCT/US2003/009867 2003.3.31 |
| 国际公布：WO2003/083422 英 2003.10.9 |
| 申请人：艾克塞利斯技术公司 |
| 地址：美国马萨诸塞州 |
| 发明设计人：M·科尔森;A·斯里瓦斯塔瓦 |
| 内容摘要：一种供测量处在加工环境中的基质的温度用的接触式温度测量探测器，它包括一个探测头，该探测头具有一个用来接触基质的由陶瓷材料或高分子材料制成的接触面，这接触式温度测量探测器消除了在含有离子源的加工环境中产生的电偏压的影响，由此能提供具有较高精度和可重复的温度测量结果。 |
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