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铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试方法及装置

发明专利

申请专利号：CN200310106478.4

申请日期：2003.12.01

公开公告号：CN1547036

公开公告日：2004.11.17

主分类号：G01R27/26

分类号：G01R27/26

国际申请：

国际公布：

申请人：中国科学技术大学

地址：230026安徽省合肥市金寨路96号

发明设计人：褚家如;李磊;鲁健

内容摘要：铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试方法及装置是一种铁电功能陶瓷材料的测试方法及装置，其测试方法为：将待测铁电薄膜的任意一端与信号发生器的输出端的负电极相连，将该待测铁电薄膜的另一端的电极与一个已知阻值的电阻的任意一端串联，该电阻另一端与信号发生器输出端的正电极相连，以信号发生器输出端的负电极作为参考地；对采样得到的信号用数字相敏检测的方法进行计算，得出这两端信号的幅度V0和Vp以及这两端信号之间的相位差θ；所谓数字相敏检测方法是指将待测信号经过模拟/数字变换后，由微处理器进行数字解调计算。得到待测铁电薄膜的等效电容量Cp和等效电阻值Rp；得到待测铁电薄膜的相对介电常数εr和介质损耗tgδ；

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