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| 耐热涂覆部件，制备方法以及采用该部件进行的处理 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200310118011.1 |
| 申请日期：2003.11.20 |
| 公开公告号：CN1502718 |
| 公开公告日：2004.06.09 |
| 主分类号：C23C4/10 |
| 分类号：C23C4/10;C23C4/18;B32B15/00;B32B18/00 |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：信越化学工业株式会社 |
| 地址：日本东京 |
| 发明设计人：浜谷典明;绀谷胜;山本昇 |
| 内容摘要：一种涂覆部件包括Mo，Ta，W，Zr或碳的基体以及含稀土的氧化物的涂层，所述氧化物涂层表面层的维氏硬度至少为50；或者，一种涂覆部件包括线膨胀系数至少为4×10-6(1/K)的基体以及位于在该基体上的含稀土的氧化物涂层。所述涂覆部件耐热，可以用来作为在粉末冶金金属、金属陶瓷和陶瓷材料的烧结中使用的定位器件。 |
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