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用于形成陶瓷薄膜电容器的方法

发明专利

申请专利号：CN200380108116.7

申请日期：2003.12.18

公开公告号：CN1732051

公开公告日：2006.02.08

主分类号：B05D5/12(2006.01

分类号：B05D5/12(2006.01)I

国际申请：2003-12-18 PCT/US2003/040351

国际公布：2004-07-22 WO2004/061905 英

申请人：摩托罗拉公司

地址：美国伊利诺斯州

发明设计人：罗伯特·克罗斯韦尔;约维察·萨维奇;阿隆·廷加雷;塔云·金;安格斯·扬·金根;乔恩-保罗·马里亚

内容摘要：通过开始(100)于将一段铜箔用作电容器的一个板极、并随后在第一台处在该铜箔的一侧的一部分上淀积(120)一层陶瓷前身，可以使用管线式卷盘到卷盘的处理技术来经济地大量生产薄膜陶瓷金属箔电容器。该箔被推送(117，127，137，147)到下一位置，在下一位置，该陶瓷前身和铜箔受热(130)，以便除去任何载体溶剂或者溶媒，随后被热解(140)以便除去任何残余的有机材料。随后，其在高温下烧结 (150)，以便将该陶瓷转换为多晶陶瓷材料。随后在该多晶陶瓷材料上淀积(160)最终的上金属层，以便形成电容器的另一板极。

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