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一种碳化硅发热元件冷端部的制造方法 |
发明专利 |
申请专利号:CN200410026085.7 |
申请日期:2004.04.29 |
公开公告号:CN1569740 |
公开公告日:2005.01.26 |
主分类号:C04B35/565 |
分类号:C04B35/565 |
国际申请: |
国际公布: |
申请人:西安奋诵丈学 |
地址:710049陕西省西安市咸宁路28号 |
发明设计人:金志浩;高积强;乔冠军;王红洁;杨建锋 |
内容摘要:本发明涉及一种碳化硅发热元件发热部陶瓷材料的制备工艺,包括12个工艺步骤,碳化硅、石油焦粉、石墨粉、活性炭粉、硅粉的质量分数分别为0.3~0.9、0.05~0.5、0~0.2、0~0.1、0~0.3,分别添加醇溶、水溶性酚醛树脂和有机增塑剂和乙醇;成形坯体入真空气氛烧结炉1450℃~1850℃烧结,得到主晶相为α-SiC,具有一定气孔率的发热元件发热部。本发明制备出主晶相为α-SiC,气孔率可调,游离硅含量<2%的发热元件发热部;电阻可控制,均匀性好;可使用大颗粒碳化硅作为原料,烧结产品晶粒大,抗氧化,强度高;适用于各种不同规格、不同形状的发热部制造,性能均匀、稳定,远高于目前的技术。 |
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