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| 陶瓷材料的涂覆方法和陶瓷膜 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200410033075.6 |
| 申请日期：2004.03.19 |
| 公开公告号：CN1535935 |
| 公开公告日：2004.10.13 |
| 主分类号：C04B35/628 |
| 分类号：C04B35/628;C04B35/462;H01L27/10 |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：精工爱普生株式会社 |
| 地址：日本东京 |
| 发明设计人：木岛健;名取荣治 |
| 内容摘要：一种陶瓷材料的涂覆方法，通过旋转涂覆在基体上涂覆含有复合氧化物的陶瓷材料而形成涂覆膜，其中包含在规定转数下，使前述的基体旋转的第1旋转工序、在小于前述第1旋转工序的转数下，使前述基体旋转的第2旋转工序以及在大于前述第2旋转工序的转数下，使前述基体旋转的第3旋转工序。 |
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