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| 用离子束对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200410074975.5 |
| 申请日期：1998.12.04 |
| 公开公告号：CN1619008 |
| 公开公告日：2005.05.25 |
| 主分类号：C23C14/24 |
| 分类号：C23C14/24;H01J37/36 |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：韩国科学技术研究院 |
| 地址：韩国汉城 |
| 发明设计人：高锡勤;郑烔镇;崔原国;赵靖 |
| 内容摘要：公开了一种用离子束(IB)对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置，该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压(220)以控制照射到该材料上的离子束的能量，能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度，在该真空室中离子束从产生离子束的部分照射，而且该装置也能够用于两面照射处理和连续处理。 |
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