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| 液晶面板用曝光装置及曝光装置 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200480004891.2 |
| 申请日期：2004.02.12 |
| 公开公告号：CN1754129 |
| 公开公告日：2006.03.29 |
| 主分类号：G03F7/20(2006.01 |
| 分类号：G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I;C04B3 |
| 国际申请：2004-02-12 PCT/JP2004/001454 |
| 国际公布：2004-09-02 WO2004/074939 日 |
| 申请人：大见忠弘;日本陶瓷科技股份有限公 |
| 地址：日本国宫城县 |
| 发明设计人：大见忠弘;武久究;森山司郎;酒卷诚 |
| 内容摘要：对于液晶面板用曝光装置(100)的掩模台面(2)和基板台面(12)，使用具有蜂窝构造的，在碳化硅中添加了玻璃的复合陶瓷材料。 |
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