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| 静电卡盘 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200510126383.8 |
| 申请日期：2005.12.08 |
| 公开公告号：CN1848404 |
| 公开公告日：2006.10.18 |
| 主分类号：H01L21/683(2006. |
| 分类号：H01L21/683(2006.01)I |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：北京北方微电子基地设备工艺研究中 |
| 地址：100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |
| 发明设计人：刘利坚 |
| 内容摘要：本发明涉及一种带加热器的、且表面绝缘层为烧结陶瓷的静电卡盘。本发明的静电卡盘包括基座、盘面绝缘层以及位于基座和盘面绝缘层之间的加热器，其中所述盘面绝缘层上邻近基座侧设有凹槽，所述加热器镶嵌在该凹槽内，盘面绝缘层上的凹槽壁部分形成用于保护加热器的保护环。本发明的静电卡盘的优点和积极效果在于：由于保护环为与盘面绝缘层一体结构，即保护环为陶瓷材料制成，陶瓷材料的抗腐蚀性能远远大于环氧树脂，所以本发明中的加热器得到了更充分的保护，故使用寿命长，因此也延长了静电卡盘的使用寿命。 |
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