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金属基陶瓷压力传感器 |
发明专利 |
申请专利号:CN200580008062.6 |
申请日期:2005.01.13 |
公开公告号:CN1938571 |
公开公告日:2007.03.28 |
主分类号:G01L9/00(2006.01 |
分类号:G01L9/00(2006.01)I;G01L19/14(2006.01)I |
国际申请:2005-01-13 PCT/US2005/000981 |
国际公布:2005-08-04 WO2005/071376 英 |
申请人:霍尼韦尔国际公司 |
地址:美国新泽西州 |
发明设计人:W·D·梅特兰;Z·乌瓦诺维克;L·J·帕纳戈托普洛斯 |
内容摘要:本发明公开了一种传感器装置以及形成该传感器装置的方法。金属膜片可以分子结合到陶瓷材料上以形成其陶瓷表面。桥式电路连接到金属膜片的陶瓷表面上。压力传感还设置有压力输入端口,其中压力输入端口连接到金属膜片,从而形成包括金属膜片、桥式电路和压力输入端口的传感器装置。金属膜片优选地焊接到压力输入端口。金属膜片和其陶瓷表面优选地在至少40℃到150℃ 的温度范围上工作,传感器装置也是如此。传感器装置作为能够用于腐蚀性介质和高温应用的压力传感器来使用。 |
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