高新技术产业数据库

喷淋板及其制造方法

发明专利

申请专利号：CN200680012975.X

申请日期：2006.04.14

公开公告号：CN101176187

公开公告日：2008.05.07

主分类号：H01L21/205(2006.01)I

分类号：H01L21/205(2006.01)I;B24B37/00(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;B24B1/04(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I

国际申请：2006-04-14 PCT/JP2006/307928

国际公布：2006-10-26 WO2006/112392 日

申请人：东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学

地址：日本东京都

发明设计人：桶作正广;大见忠弘

内容摘要：本发明提供一种喷淋板，其处理气体的喷出孔结构简单且能容易地加工形成，而且喷出孔尺寸精度高，不发生处理气体的喷出偏差和不均，具有一定品质和互换性。压制成型低介电率陶瓷材料用粉末，将外形尺寸成形为留有烧结收缩余料和精加工余料的圆板状，在该圆板状成形体阶段，在穿设完气体导入通路(3)和喷出孔(2)的成形体用孔后进行烧结，并将气体导入通路(3)和喷出孔主体部分(2b) 的表面粗糙度研磨至1s以内，一边使前端部分为前端渐细形状的研磨用线材插通喷出口(2a)并往复移动，一边顺次向线材直径大的方向滑动，由此精加工成直径在0.1以上不满0.3mm范围内，尺寸精度在 ±0.002mm以内，且表面粗糙度在1s以内。

详细内容请点击全文下载...

全文下载