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用于恒温处理衬底的装置和方法

发明专利

申请专利号：CN200680015241.7

申请日期：2006.03.30

公开公告号：CN101171522

公开公告日：2008.04.30

主分类号：G01R1/04(2006.01

分类号：G01R1/04(2006.01)I

国际申请：2006-03-30 PCT/EP2006/002908

国际公布：2006-10-05 WO2006/103073 德

申请人：ATT系统有限公司

地址：德国马丁斯瑞德

发明设计人：马库斯·艾布尔

内容摘要：本发明涉及一种用于恒温处理衬底(S)的装置和方法以及一种用于制造这种装置的方法，该装置包括：一个第一部件(10)，其具有一个用于紧贴在衬底(S)上的接触面(20)以及一个第一连接面(22)和一个第二部件(12)，其具有一个第二连接面(28)，通过其该部件至少部分紧贴在第一部件(10)的第一连接面(22)上，其中，两个部件(10、 12)的至少之一包括陶瓷材料，两个连接面(22、28)的至少之一上具有至少一个空隙(24、30)，其确定装置上的至少一个空腔(32)，以及具有至少一个第一连接孔，通过其可以使恒温处理液体向和/或者从至少一个空腔(32)流入和/或者排出。

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