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| 带有衬底涂敷用载具的涂敷设备 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200710102086.9 |
| 申请日期：2007.05.14 |
| 公开公告号：CN101097880 |
| 公开公告日：2008.01.02 |
| 主分类号：H01L21/687(2006.01)I |
| 分类号：H01L21/687(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：应用材料合资有限公司 |
| 地址：德国阿尔岑瑙 |
| 发明设计人：于尔根·乌尔里克 |
| 内容摘要：本发明涉及一种带有新颖的衬底载具(1)的涂敷设备。衬底载具 (1)主要由玻璃陶瓷制成的板(2)组成。与迄今为止所用的传统CFC材料相比，玻璃陶瓷材料价格较低且交货时间较短。因此可以更经济地操作涂敷设备。 |
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