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制造具有由氧化铝组成的陶瓷结构的部件的方法

发明专利

申请专利号：CN200710186832.7

申请日期：2005.05.24

公开公告号：CN101186488

公开公告日：2008.05.28

主分类号：C04B35/10(2006.0

分类号：C04B35/10(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I

国际申请：

国际公布：

申请人：应用材料有限公司

地址：美国加利福尼亚州

发明设计人：L·穆鲁盖什;S·德特玛;H·方

内容摘要：提供了一种制造具有由氧化铝组成的陶瓷结构的部件的方法。所述方法包括提供一种陶瓷粉末，其中氧化铝按重量具有至少约99.8％的纯度。所述陶瓷粉末然后被球磨研磨，研磨表面具有氧化铝，以形成粒度范围从约0.2微米到约5微米的粉末。由所述粉末形成具有预定形状的陶瓷预制件。所述陶瓷预制件在从约1300℃到约1800℃的温度被烧结，以形成烧结的陶瓷材料，其由氧化铝组成，按重量具有至少约99.8％的纯度。烧结的陶瓷材料也具有晶粒和晶界区域，如此晶粒的总面积GSA与晶界区域的总面积GBSA的比值为从约0.25到约2.5。此外，在烧结的陶瓷材料中，至少约80％晶粒的尺寸范围为从约1微米到约20微米。

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