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| 就产生颗粒的杂质对反应性气体例如硅烷进行分析 |
| 发明专利 |
| 申请专利号：CN200710101167.7 |
| 申请日期：2007.05.09 |
| 公开公告号：CN101071097 |
| 公开公告日：2007.11.14 |
| 主分类号：G01N15/00(2006.0 |
| 分类号：G01N15/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I |
| 国际申请： |
| 国际公布： |
| 申请人：气体产品与化学公司 |
| 地址：美国宾夕法尼亚州 |
| 发明设计人：P·J·马罗利斯;S·N·克特卡;W·T·麦克德莫特 |
| 内容摘要：公开了改进的供给处理装置气体的方法，所述气体包含至少一种能起反应和/或成核形成悬浮于气体中的污染性颗粒的杂质。该改进包括用粒子计数器和/或颗粒俘获过滤器采样处理装置上游的气流，以检测该气流中污染性颗粒的量，和当颗粒的量超过预定量时产生信号。实施该方法的装置包括：供应源；至少一种处理工具；放置在处理工具上游和供应源下游的颗粒计数器；与至少所述颗粒计数器电连接的微处理器；和任选地，与颗粒计数器并联的粒子俘获过滤器。所述方法和装置可用于制备集成电路。 |
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