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微机械式三轴角速率传感器

发明专利

申请专利号：CN200510096134.9

申请日期：2005.10.12

公开公告号：CN1948969

公开公告日：2007.04.18

主分类号：G01P9/04(2006.01

分类号：G01P9/04(2006.01)I

国际申请：

国际公布：

申请人：西安中星测控有限公司

地址：710075陕西省西安市高新区高新一路创新大厦F7

发明设计人：王革命张养鱼曲国福

内容摘要：本发明涉及一种可对旋转物体三个轴向角速率进行测量的传感器，包括X、Y、Z三个空间轴角速率传感器，每个传感器均由ST自检测接口电路、敏感元件电路、电荷泵升压电路、解调滤波电路和输出放大电路组成，自检测接口和电荷泵电路的输出端分别接至敏感元件电路的输入端，敏感元件电路的输出端通过解调滤波电路接至输出放大电路。角速率传感器根据谐振器陀螺原理工作，以MEMS技术芯片构成的敏感元件接收物体有角速率时产生的科里奥运动并产生电信号，该电信号经解调滤波电路和输出放大电路后，进而输出正比于角速率的模拟信号至相应的微处理器。产品具有结构合理、操作方便、体积小、造价低等优点，可广泛用于惯性测量、飞行器稳定控制、捷联惯导等领域。

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